薄膜晶体管制造方法和显示装置

摘要

在其中要在基板1上形成栅电极4的薄膜晶体管的制造方法中，该方法具有以下步骤：在基板1上形成栅电极4；以覆盖所述栅电极4的方式形成金属氧化物层7；形成源电极6和漏电极5；以及在惰性气体中实施退火，以将金属氧化物层7的一部分变成沟道区域。

主权项

1.一种用于制造其中要在基板上形成栅电极的薄膜晶体管的方法，该方法包括以下步骤：在所述基板上形成所述栅电极；以覆盖所述栅电极的方式形成金属氧化物层；形成源电极和漏电极；以及在惰性气体中实施热处理，以将所述金属氧化物层的一部分变成沟道区域。