用于快速热处理腔室的灯

摘要

揭露了一种用于基板热处理腔室中加热基板至高达至少1100℃的温度的灯组件。在一实施例中，该灯组件包括了一灯泡，其包围住贴附至一对导线的至少一可产生光线的灯丝，该灯泡具有一内表面与一外表面；一灯座是配置以接收该对导线，且该灯泡中具有表面处理以使光线可反射离开灯座的至少一部份。在另一实施例中，套管覆盖灯座，其截面面积比灯泡的截面面积小约1.2倍。

主权项

1.一种灯组件，包括：灯泡，其包围住贴附至一对导线的至少一可产生光线的灯丝，该灯泡具有内表面与外表面；灯座，其是配置以接收该对导线，该灯组件适用于基板热处理腔室以加热该基板至高达至少约1100℃的温度，至少一部份该灯泡具有表面处理，其适以反射光线离开该灯座。