| 发明名称 | 促动器装置以及液体喷射头 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种具备与基底的密接力高的下电极的促动器装置以及液体喷射头。该促动器装置具备：压电元件，其由设置于基板一面侧的下电极、设置于该下电极上的压电体层以及设置于该压电体层上的上电极构成，所述下电极含有贵重金属，用二次离子质谱分析装置(SIMS)在厚度方向上测定所述下电极时，在所述下电极的所述基板侧的边界检测出的氧离子的强度Z<sub>1</sub>、和在所述下电极的所述基板侧的边界检测出的所述贵重金属的离子的强度Z<sub>2</sub>之比Z<sub>1</sub>/Z<sub>2</sub>为0.2以上。 | ||
| 申请公布号 | CN100576592C | 申请公布日期 | 2009.12.30 |
| 申请号 | CN200710152847.1 | 申请日期 | 2007.09.18 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 龟井宏行 |
| 分类号 | H01L41/09(2006.01)I;H01L41/047(2006.01)I;H02N2/02(2006.01)I;B41J2/14(2006.01)I | 主分类号 | H01L41/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李贵亮 |
| 主权项 | 1.一种促动器装置，其特征在于，具备：振动膜，其设置于基板一面侧；压电元件，其由设置于该振动膜上的下电极、设置于该下电极上的压电体层以及设置于该压电体层上的上电极构成，在所述基板上设有构成振动膜的基底层，在该基底层上设有所述下电极，所述下电极含有Ir、Pt、Ti以及TiOX，其中，0.1≤x≤2，用二次离子质谱分析装置即SIMS在厚度方向上测定所述下电极时，在所述下电极的所述基板侧的边界检测出的氧离子的强度Z1、和在所述下电极的所述基板侧的边界检测出的Ir、Pt、Ti的离子中被最强地检测出的强度Z2之比Z1/Z2为0.2以上。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||