发明名称 |
LED LIGHTING SYSTEM FOR AN ELECTRICAL TESTING SYSTEM |
摘要 |
<p>LED-Beleuchtung für ein optisches Prüfgerät mit Mikroskopoptik (8) zur Erzeugung einer mikroskopischen Abbildung wird beschrieben, wobei die LED-Beleuchtung eine Mehrzahl von LED-Einheiten (1, 2, 3) zur Prüfobjektbeleuchtung an unterschiedlichen Positionen am Prüfgerät umfasst. Die LED-Beleuchtung weist mindestens zwei unterschiedlich positionierte LED-Beleuchtungseinheiten (1, 2, 3) zur Erzeugung unterschiedlicher Beleuchtungsarten auf, die eine Beleuchtung im fernen Dunkelfeld, eine Beleuchtung im nahen Dunkelfeld, und die Beleuchtung im Hellfeld jeweils bedient.</p> |
申请公布号 |
WO2009156346(A1) |
申请公布日期 |
2009.12.30 |
申请号 |
WO2009EP57671 |
申请日期 |
2009.06.19 |
申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;GERHARD, DETLEF;HEIM, RALF;LECHNER, JOHANNES |
发明人 |
GERHARD, DETLEF;HEIM, RALF;LECHNER, JOHANNES |
分类号 |
G02B21/12;G02B21/08 |
主分类号 |
G02B21/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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