| 发明名称 | 一种机台工作状态指示装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提出一种机台工作状态指示装置，包括：机械手原始位置传感器，机械手真空传感器，晶片预对准摆放传感器及量测台真空传感器连接至可编程逻辑器件的输入端，并且该可编程逻辑器件的输出端连接至指示装置。本实用新型使工作人员能更直观地了解到晶片量测过程是否结束，决定将晶片盒取走的适当时间，避免误操作造成的晶片刮伤。 | ||
| 申请公布号 | CN201374319Y | 申请公布日期 | 2009.12.30 |
| 申请号 | CN200920006623.4 | 申请日期 | 2009.03.05 |
| 申请人 | 和舰科技(苏州)有限公司 | 发明人 | 虞晓亮 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;G01R1/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张春媛 |
| 主权项 | 1、一种机台工作状态指示装置，包括指示机械手位置的机械手原始位置传感器，机械手真空传感器，量测台真空传感器，其特征在于，上述机台工作状态指示装置还包括：晶片预对准摆放传感器；可编程逻辑器件；显示灯；并且上述机械手原始位置传感器，机械手真空传感器，量测台真空传感器，以及晶片预对准摆放传感器分别与上述可编程逻辑器件的输入端电连接，该可编程逻辑器件的输出端与上述显示灯电连接。 | ||
| 地址 | 215025江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 | ||