具有标线器平台安全结构的方法及其装置

摘要

本发明揭示一种具有一标线器平台安全结构的装置及方法。该装置包含一标线器平台及一光学平台。该标线器平台支撑一标线器且能够在x-y-z方向中移动该标线器。该光学平台包含：多数个组件，其用以将自该标线器所反射之光引导至一晶圆基板上；及一安全结构，其用以移动该光学平台之一或多个组件离开该标线器平台。

主权项

1.一种光微影装置，其特征在于，包括：一标线器平台，其用以支撑一标线器并能够在x-y-z方向中移动所述标线器；以及一光学平台，其包含：一固定遮蔽单元，其经安置以使在所述光学平台内所反射的光成形，一或多个光学镜面，其用以将自所述标线器反射的光引导至一晶圆基板上；及一安全结构，所述安全结构与所述固定遮蔽单元连接且移动所述固定遮蔽单元离开所述标线器平台。