发明名称 |
ARRANGEMENT FOR COATING TAPE-SHAPED FILM SUBSTRATES |
摘要 |
<p>Der Erfindung, die eine Anordnung zum Beschichten bandförmiger Foliensubstrate mit einer Abwickel- und einer Aufwickelrolle zwischen denen das Foliensubstrat unter einer Bandzugspannung geführt wird und einer dazwischen angeordneten Beschichtungsstation betrifft, liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vakuumbe Schichtung von Foliensubstraten zu ermöglichen, bei der ein Überschreiten der maximalen Substrattemperatur verhindert wird und die einen hochqualitativen Substrattransport ermöglicht. Dies wird dadurch gelöst, dass die Beschichtungsstation mindestens zwei in Richtung des Bandlaufes hintereinander und einer Beschichtungsseite des Foliensubstrates gegenüber liegenden Seite angeordnete Beschichtungsquellen aufweist, dass zwischen zwei benachbarten Beschichtungsquellen auf einer der Beschichtungsseite gegenüberliegenden Rückseite des Foliensubstrates ein eine auf die Rückseite des Foliensubstrates als Kraftkomponente aus der der Bandzugspannung resultierende Stützkraft erzeugendes Stützelement angeordnet ist und dass das Foliensubstrat zwischen zwei Stützelementen frei gespannt ist.</p> |
申请公布号 |
WO2009156121(A1) |
申请公布日期 |
2009.12.30 |
申请号 |
WO2009EP04515 |
申请日期 |
2009.06.23 |
申请人 |
VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH;GOTTSMAN, LUTZ;PROEHL, HOLGER |
发明人 |
GOTTSMAN, LUTZ;PROEHL, HOLGER |
分类号 |
H01J37/32;C23C14/56;C23C16/54 |
主分类号 |
H01J37/32 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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