| 摘要 |
1. Микромеханический акселерометр, содержащий маятник, выполненный из монокристаллического кремния, имеющий два плеча и подвешенный с помощью двух крестообразных торсионов, и электрическую плату, представляющую собой диэлектрическую пластину с электродами, причем часть материала одного из плеч маятника удалена с внешней по отношению к электрической плате стороны плеча, отличающийся тем, что дополнительно содержит соединенное с электрической платой основание, к которому с помощью торсионов прикреплен маятник, причем основание, торсионы и маятник выполнены из одной пластины монокристаллического кремния. ! 2. Микромеханический акселерометр по п.1, отличающийся тем, что ось, проходящая через торсионы, пересекает вертикальную ось основания, которую также пересекает одна из осей симметрии маятника. |
