| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR DE VERVAARDIGING VAN EPITAXIALE LAGEN OP MONOKRISTALLIJNE SUBSTRATEN VOLGENS DE VLOEISTOF-SCHUIFEPITAXIE. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL7709714(A) |
申请公布日期 |
1978.03.16 |
| 申请号 |
NL19770009714 |
申请日期 |
1977.09.02 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT TE BERLIJN EN MUENCHEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND. |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L33/00;C30B19/00;C30B19/06;C30B19/12;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/06 |
主分类号 |
H01L33/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
