| 摘要 |
<p>【課題】巨大なクリーンルームを用いることなく、極めて簡単な構成でクラス１またはそれ以上の極めて高い清浄度を得ることができ、かつ外部と同一の酸素濃度に維持することができるクリーンユニットを提供する。【解決手段】作業室４１の上面に送風動力を有する塵埃フィルター４２を有し、塵埃フィルター４２と作業室４１とを連結するようにフィードバック気体流路４３が取り付けられたクリーンユニットにおいて、作業室４１の壁の一部に、ダスト微粒子を１００％は通さず、気体分子は通す隔壁４５を取り付ける。隔壁４５としてＵＬＰＡフィルター、ＨＥＰＡフィルター、ガスバリア膜などを用いる。【選択図】図１６</p> |
