| 摘要 |
<p>【課題】 液晶ガラスのような平板状のガラスの表面を極めて綺麗に、かつ効率的にクリーニングすることができ、コンパクトで小型にまとめられているガラス表面クリーニング装置を提供する。【解決手段】 治具トレイ１上に水平に搭載されている液晶ガラス５の表面にはテープ移動弾圧機構部３のスキーパーヘッド３２に巻回されているテープ１５が弾接され、このテープ１５は液晶ガラス５の表面を移動し、リニアモータ２や８の動作により効率的にクリーニングされる。また、テープ１５の汚れは常に新鮮状態に保持され、高精度のクリーニングが可能となる。【選択図】 図１</p> |
