发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS5360587(A) |
申请公布日期 |
1978.05.31 |
申请号 |
JP19760136046 |
申请日期 |
1976.11.11 |
申请人 |
NIPPON ELECTRIC CO |
发明人 |
IKUSHIMA YASUTAKA;KAMOSHITA MOTOTAKA |
分类号 |
H01L21/3205;H01B1/00;H01B1/16;H01L21/28;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|