发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5360587(A) 申请公布日期 1978.05.31
申请号 JP19760136046 申请日期 1976.11.11
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 IKUSHIMA YASUTAKA;KAMOSHITA MOTOTAKA
分类号 H01L21/3205;H01B1/00;H01B1/16;H01L21/28;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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