| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5360579(A) |
申请公布日期 |
1978.05.31 |
| 申请号 |
JP19760135670 |
申请日期 |
1976.11.11 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
OKUYAMA NOBORU;TAKAHASHI AKIO;YONEYAMA TERUO |
| 分类号 |
H01L29/78;C23F1/00;C23F1/08;H01L21/306;H01L29/76 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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