发明名称 FLIP CHIP BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5360576(A) 申请公布日期 1978.05.31
申请号 JP19760136149 申请日期 1976.11.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIDAKA KEISUKE;KATAOKA MASAYUKI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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