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发明名称
摘要
申请公布号	JP4387801(B2)	申请公布日期	2009.12.24
申请号	JP20030573691	申请日期	2002.04.19
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065;H01L21/302;H01L21/461	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
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