| 发明名称 |
Verfahren und Anordnung zum Beschichten eines Substrates |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102005024518(B4) |
申请公布日期 |
2009.12.24 |
| 申请号 |
DE200510024518 |
申请日期 |
2005.05.27 |
| 申请人 |
CIS INSTITUT FUER MIKROSENSORIK GGMBH |
发明人 |
VOELLMEKE, STEFAN |
| 分类号 |
B05D1/02;B05B1/14;G03F7/16 |
主分类号 |
B05D1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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