发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5492177(A) 申请公布日期 1979.07.21
申请号 JP19770160285 申请日期 1977.12.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TSUJIMURA TAKEHISA
分类号 H01L21/60;H01L21/82 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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