发明名称
摘要
申请公布号 JP4390797(B2) 申请公布日期 2009.12.24
申请号 JP20060300554 申请日期 2006.11.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/34;H01S5/343 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址