发明名称 透射电镜微栅的制备方法
摘要 本发明涉及一种透射电镜微栅的制备方法,其包括以下步骤:提供多个金属网格间隔设置在一基底表面;从碳纳米管阵列中拉取获得至少一碳纳米管薄膜;将至少一碳纳米管薄膜覆盖在该多个间隔设置的金属网格上;使用有机溶剂处理该碳纳米管薄膜和金属网格;以及断开该多个金属网格之间的碳纳米管薄膜,从而形成多个透射电镜微栅。
申请公布号 CN101609771A 申请公布日期 2009.12.23
申请号 CN200810067934.1 申请日期 2008.06.20
申请人 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 发明人 张丽娜;陈卓;冯辰;刘亮;姜开利;李群庆;范守善
分类号 H01J9/00(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I 主分类号 H01J9/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1.一种透射电镜微栅的制备方法,其包括以下步骤:提供多个金属网格间隔设置在一基底表面;从碳纳米管阵列中拉取获得至少一碳纳米管薄膜;将至少一碳纳米管薄膜覆盖在该多个间隔设置的金属网格上;使用有机溶剂处理该碳纳米管薄膜和金属网格;以及断开该多个金属网格之间的碳纳米管薄膜,从而形成多个透射电镜微栅。
地址 100084北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室