发明名称 |
透射电镜微栅的制备方法 |
摘要 |
本发明涉及一种透射电镜微栅的制备方法,其包括以下步骤:提供多个金属网格间隔设置在一基底表面;从碳纳米管阵列中拉取获得至少一碳纳米管薄膜;将至少一碳纳米管薄膜覆盖在该多个间隔设置的金属网格上;使用有机溶剂处理该碳纳米管薄膜和金属网格;以及断开该多个金属网格之间的碳纳米管薄膜,从而形成多个透射电镜微栅。 |
申请公布号 |
CN101609771A |
申请公布日期 |
2009.12.23 |
申请号 |
CN200810067934.1 |
申请日期 |
2008.06.20 |
申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
发明人 |
张丽娜;陈卓;冯辰;刘亮;姜开利;李群庆;范守善 |
分类号 |
H01J9/00(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01J9/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种透射电镜微栅的制备方法,其包括以下步骤:提供多个金属网格间隔设置在一基底表面;从碳纳米管阵列中拉取获得至少一碳纳米管薄膜;将至少一碳纳米管薄膜覆盖在该多个间隔设置的金属网格上;使用有机溶剂处理该碳纳米管薄膜和金属网格;以及断开该多个金属网格之间的碳纳米管薄膜,从而形成多个透射电镜微栅。 |
地址 |
100084北京市海淀区清华园1号清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 |