激光加工方法以及激光加工装置

摘要

本发明涉及的激光加工装置中，具有：激光振荡器(3)，其输出激光束(1)；掩模(5)，其配置在激光束的光路中，使从激光振荡器(3)输出的激光束成形为希望的直径或者形状；波阵面曲率调整单元(8)，其配置在紧邻在前述掩模(5)前的激光束光路中，使前述掩模(5)上的激光束的波阵面曲率发散；复制透镜(7)，其配置在前述掩模(5)和被加工物(2)之间的激光束光路中，在将透过前述掩模(5)的激光束照射在被加工物(2)表面时，将前述掩模(5)的像复制到被加工物(2)表面上，由此，因为可以使被加工物(2)表面上的激光束(1)的波阵面曲率(23)发散，所以即使是厚度厚的被加工物(2)，也可以优化加工孔的锥度。

主权项

1.一种激光加工装置，其特征在于，具有：激光振荡器，其输出激光束；掩模，其配置在激光束的光路中，将从激光振荡器输出的激光束成形为具有希望的光束直径或者形状；波阵面曲率调整单元，其配置在紧邻在前述掩模前的激光束光路上，使前述掩模上的激光束的波阵面曲率发散；以及复制透镜，其配置在前述掩模和被加工物之间的激光束光路中，在将透过前述掩模的激光束照射到被加工物表面时，将前述掩模的像复制到被加工物表面。