对准带有波导的光学组件的方法

摘要

一个形成光子器件的方法包括了在基层(3)上提供波导核心部材料(1)的核心式样的步骤和应用一个包层(2)在所述核心部材料(1)和所述基层(3)之上的步骤。所述的基层(3)上面的包层(2)的表面的高度根据所述的核心部材料的样式而发生变化。所述的核心部样式被设计成至少包括两个参考区域，每个参考区域都具有一个宽度w，并结合一个高于参考区域的预定高度h1提供一个包层(2)的峰值。所述的核心部样式被进一步设计为使得所述参考区域的峰值之间的连线是高于介于其间的包层的峰值，根据所述参考区域的峰值提供一个垂直对准的参考。

主权项

1.一种形成光子器件的方法，所述光子器件包括至少一个波导，该方法包括以下步骤：1)在一基层上提供一波导核心部材料构成的核心部式样；2)应用一包层在所述核心部材料和所述基层之上，所述的基层上面包层表面的高度根据所述的核心部材料的式样而发生变化，其中，所述的核心部式样被设计成至少带有两个参考区域，每个参考区域都具有一个宽度，并结合一个高于参考区域的预定高度来提供一个包层的峰值，以及所述的核心部式样被进一步设计为使得所述参考区域的峰值之间的连线高于介于其间的包层的峰值，根据所述参考区域的峰值提供一个垂直对准的参考。