| 发明名称 |
OPTICAL SURFACE INSPECTION UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5575606(A) |
申请公布日期 |
1980.06.07 |
| 申请号 |
JP19780149213 |
申请日期 |
1978.12.01 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES |
发明人 |
UEHARA KENICHIROU;NASU YOSHIHIRO |
| 分类号 |
G01N21/89;G01B11/24;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/892 |
主分类号 |
G01N21/89 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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