离轴投影光学系统及使用该系统的超紫外线光刻装置

摘要

提供了一种离轴投影光学系统，其包括离轴设置的第一和第二反射镜。第一反射镜弯曲部分的切向和径向半径分别为R_1t和R_1s。第二反射镜弯曲部分的切向和径向半径分别为R_2t和R_2s。从物点到第一反射镜10的光束入射角为i₁，从第一反射镜10反射到第二反射镜30的光束入射角为i₂。数值R_1t、R_1s、R_2t、R_2s、i₁和i₂可以满足下面的等式：R_1tcosi₁＝R_2tcosi₂；R_1s＝R_1tcos²i₁；R_2s＝R_2tcos²i₂。

主权项

1、一种离轴投影光学系统，包括：离轴设置的第一和第二反射镜，其中如果第一反射镜弯曲部分的切向和径向半径分别为R1t和R1s；第二反射镜弯曲部分的切向和径向半径分别为R2t和R2s；从物点到第一反射镜的光束入射角为i1；从第一反射镜反射到第二反射镜的光束入射角为i2，则满足下面的等式：R1t cosi1＝R2t cosi2R1s＝R1t cos2i1R2s＝R2t cos2i2，其中第一反射镜为凸面镜，第二反射镜为凹面镜。