挠性基材连续式化学水浴沉积之装置

摘要

本实用新型公开了一种挠性基材连续式化学水浴沉积之装置，其包含一加热器的两侧分别结合一基材滚卷单元，该基材滚卷单元是一纵向调整座上结合至少一横向调整座，并于该横向调整座结合可转动的至少一导轮所组成，使该导轮位于该加热器两侧的上方，藉此组成挠性基材连续式化学水浴沉积设备之装置。本实用新型之加热传动装置可并排组装在化学水浴沉积设备的过程固定架上，在该加热器上连续输送一基材，通过该基材滚卷单元的导轮将该基材的两侧边略弯曲，以在基材上输入化学药液进行单面沉积处理，并可通过该加热器进行加热处理，以达到成膜之条件。

主权项

1、一种挠性基材连续式化学水浴沉积之装置，其特征在于，包含：一加热器，为一种电加热器，其上端设有一加热板，其两侧分别结合一基材滚卷单元；所述基材滚卷单元，其具有一纵向调整座，该纵向调整座上结合至少一横向调整座，并于该横向调整座选定处结合可转动的至少一导轮，使该导轮位于所述加热器两侧的上方，藉此组成挠性基材连续式化学水浴沉积之装置。