光学式位移测量装置

摘要

一种光学式位移测量装置，其是使传感头能在标尺上沿测量轴方向移动的反射型。该装置是具备：配置在光源部一侧的第一光栅，和配置在标尺上的第二光栅，和配置在感光部上的第三光栅的三格栅型。把光扩散部配置在光源部与第一光栅之间。来自光源部的平行光在光扩散部被扩散并向第一光栅射入。

主权项

1、一种光学式位移测量装置，其特征在于，其包括：光源部，其射出相干的平行光；光扩散部，其把从所述光源部射出的平行光进行扩散并且作为非相干的扩散光；第一光栅，其衍射由所述光扩散部扩散的光；标尺，其把由所述第一光栅衍射的光进行衍射的第二光栅设置成与所述第一光栅相对；感光部，其把由所述第二光栅衍射的光射入的第三光栅设置成与所述第二光栅相对的同时，能与所述光源部、所述光扩散部和所述第一光栅一起相对于所述标尺进行相对移动。