SILICON-BASED MICROFLOW SENSOR FOR GAS ANALYSIS AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Mikroströmungsfühler zum Messen der Strömungsgeschwindigkeiten eines Strömungsmediums. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass zwei aus Silizium bestehende Mäander-Strukturen (5, 6) ausgebildet sind. Besonders Vorteilhaft ist die Verwendung dieser beiden Mäander-Strukturen (5, 6) zusammen mit zwei Ergänzungswiderständen, sodass eine Wheatstone-Brücke ausgebildet wird. Bei einem derartigen Mikroströmungsfühler sollen die Empfindlichkeit der Sensoren erhöht, die Ansprechzeiten verringert sowie das Signal-/Rausch-Verhältnis erhöht werden.