发明名称 一种制备纳米间隙电极的反馈控制系统
摘要 本发明涉及一种制备纳米间隙电极的反馈控制系统,其包括:直流沉积单元、实时监测单元、信号采集单元及控制器,直流沉积单元包括一直流源与一电化学液池,电化学液池中设置有对电极、参比电极及一对待沉积电极对,其中直流源为一电化学工作站,其第一输出端连接至对电极,第二输出端连接到参比电极,第三输出端经由地线连接到待沉积电极对,与第一输出端构成直流沉积回路;实时监测单元包括二采样电阻及二交流源,二采样电阻分别与待沉积电极对串联,另一端分别与二交流源串联形成交流回路,二交流源的另一端与电化学工作站的第三输出端共地;信号采集单元连接在采样电阻与待沉积电极对之间,信号采集单元的输出与控制器连接,控制器的输出与电化学工作站的控制端连接。
申请公布号 CN100572613C 申请公布日期 2009.12.23
申请号 CN200410091452.1 申请日期 2004.11.24
申请人 北京大学 发明人 陈芳;卿泉;吴忠云;刘忠范
分类号 C25D21/12(2006.01)I;G01N27/30(2006.01)I;H01L21/288(2006.01)I 主分类号 C25D21/12(2006.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人 徐 宁;关 畅
主权项 1、一种制备纳米间隙电极的反馈控制系统,其包括:直流沉积单元、实时监测单元、信号采集单元及控制器,所述直流沉积单元包括一直流源与一电化学液池,所述电化学液池中设置有对电极、参比电极及一对待沉积电极对,其特征在于:所述直流源为一电化学工作站,其第一输出端连接至所述对电极,第二输出端连接到所述参比电极,第三输出端经由地线连接到所述待沉积电极对,与所述第一输出端构成直流沉积回路;所述实时监测单元包括二采样电阻及二交流源,所述二采样电阻分别与所述待沉积电极对串联,另一端分别与所述二交流源串联形成交流回路,所述二交流源的另一端与所述电化学工作站的第三输出端共地;所述信号采集单元连接在所述采样电阻与所述待沉积电极对之间,所述信号采集单元的输出与所述控制器连接,所述控制器的输出与所述电化学工作站的控制端连接。
地址 100871北京市海淀区北京大学化学系