LASER SCANNING MICROSCOPE HAVING A LASER DIODE COMPRISING A LIGHT MODULATION DEVICE

摘要

In Laser-Scanning-Mikroskopen kann die Lichtintensität eines Diodenlasers mittels eines akustooptischen Bauelements mit hoher Genauigkeit kontrolliert werden. Dies benötigt jedoch relativ viel Bauraum und ist kostenaufwendig. Die alternative Direktmodulation über den Diodenstrom hat den Nachteil, dass im Bereich der Laserschwelle Laserparameter wie die Polarisation und die spektrale Breite instabil werden. Intensitätsänderungen über eine Änderung der elektrischen Ansteuerparameter ziehen außerdem zwangsläufig optische Pulsformänderungen nach sich. Die Erfindung soll die Einstellung der Lichtintensität mit geringem Aufwand und hoher Genauigkeit ermöglichen. Indem unmittelbar an der Laserdiode (13), zweckmäßigerweise an einer ihrer Stirnseiten, eine Lichtmodulationssektion (15) wie ein Elektroabsorptionsmodulator (EAM) oder ein Halbleiterverstärker (SOA) angeordnet ist, kann auf ein separates akustooptisches Bauelement verzichtet werden. Die Kontrolle der Lichtintensität ist dennoch mit geringem Aufwand und hoher Genauigkeit möglich, denn bei Änderung der optischen Ausgangsleistung mittels der Lichtmodulationssektion bleiben die wesentlichen Parameter der Laserstrahlung unverändert. Vorzugsweise ist die Lichtmodulationssektion zumindest in einer Materialschicht integral mit der Laserdiode ausgebildet.