一种快响应宽频段光探测器

摘要

本发明涉及一种快响应宽频段光探测器，包括：p型或n型硅片为衬底；在其上相应生长一层n型或p型的光响应材料层做成芯片，所述的光响应层为生长在硅片衬底上的掺杂钛酸锶薄膜，该掺杂钛酸锶光响应材料层厚度为0.5nm-5μm；第一电极设置在光响应材料层上，第二电极设置在硅片面上，每根电极引线的一端分别与二个电极连接，电极引线的另一端是信号输出端；电阻的两端分别和电极引线的输出端连接。该探测器均为光生伏特型，当光照射后直接产生电压信号，不需要任何辅助的电源和电子电路。其响应波段从紫外到远红外，可响应飞秒脉宽的激光脉冲，激光脉冲产生电压脉冲的前沿小于1ns，半宽度小于2ns，脉冲全宽度仅为几个ns。

主权项

1.一种快响应宽频段光探测器，包括：p型或n型硅片为衬底(1)；在所述的p型或n型硅片为衬底(1)上相应生长一层n型或p型的掺杂钛酸锶薄膜层做成芯片；其特征在于：还包括一电阻(5)、第一电极(3)、第二电极(4)和两根引线(6)，以及一绝缘层(7)，所述的绝缘层(7)外延生长在衬底(1)与所述的n型或p型的掺杂钛酸锶薄膜层之间，所述的绝缘层(7)的厚度为10nm～500nm；所述的掺杂钛酸锶薄膜层为光响应材料层(2)，该光响应材料层(2)厚度为0.5nm-5μm；第一电极(3)设置在光响应材料层(2)上，第二电极(4)设置在衬底(1)面上，两根电极引线(6)的一端分别与第一电极(3)和第二电极(4)连接，电极引线(6)的另一端是信号输出端；电阻(5)的两端分别和两根电极引线(6)的输出端连接；所述的快响应宽频段光探测器是光生伏特型光电探测器；所述的掺杂钛酸锶薄膜层是Sr1-xRxTiO3或SrMyTi1-yO3；其中R包括：La、Dy、Y、Sm或Gd；其中M包括：Nb、Sb、Ta、In、Mn、W、Mg或Fe；其x值为0.005～0.5，y值为0.005～0.5；所述的电阻(5)的阻值为0.01Ω～1MΩ。