硅片传输设备的控制系统及方法

摘要

本发明公开了一种硅片传输设备的控制系统及方法，包括PLC，上层控制单元与PLC之间设有中间影射单元，PLC通过中间影射单元与上层控制单元之间交互信息，对硅片传输设备由PLC直接进行控制，不需要上层软件的参与，也不占用上层软件的资源，完全独立运行，这样使得对硅片传输设备的操作速度快、控制简单、可靠、自动化程度高。尤其适用于对半导体硅片加工设备的传输装置的控制。

主权项

1、一种硅片传输设备的控制系统，包括上层控制单元，用于对硅片传输设备进行控制，其特征在于，还包括可编程控制器PLC，所述的上层控制单元通过PLC对硅片传输设备进行控制，所述的上层控制单元与PLC之间设有中间影射单元，所述PLC通过中间影射单元与上层控制单元之间交互信息；所述的上层控制单元包括多个对象化模块，每个对象化模块包含对硅片传输设备进行控制的信息包，所述信息包通过中间影射单元传递给PLC；所述PLC根据信息包的指令对硅片传输设备进行控制，并将控制信息通过中间影射软件反馈给上层控制单元。