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发明名称
RAISED STI STRUCTURE AND SUPERDAMASCENE TECHNIQUE FOR NMOSFET PERFORMANCE ENHANCEMENT WITH EMBEDDED SILICON CARBON
摘要
申请公布号
EP2050128(A4)
申请公布日期
2009.12.23
申请号
EP20070813250
申请日期
2007.07.24
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
CHAKRAVARTI, ASHIMA, B.;CHIDAMBARRAO, DURESETI;HOLT, JUDSON R.;LIU, YAOCHENG;RIM, KERN
分类号
H01L21/336;H01L21/762;H01L21/8238
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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