超小型加速度计

摘要

一种超小型加速度计，主要包括一个加热器，一个热气泡，热电堆和底部空腔，其特征在于所述在硅衬底上设有加热器，和热电堆，采用塞贝克效应将温差转换为电压信号，加速度信号从每个热电堆的差动电压中获取，由梁分布检验块和压敏电阻组成一个Z轴加速度计信号输出，通过引线键合的形式组装。本发明的优点是采用CMOS兼容工艺的微制造技术及玻璃料或阳极键合进行圆片级封装，加速度计具有超小型外形、三维或二维加速度信号输出，制造成本低，灵敏度高。

主权项

1.一种超小型加速度计，主要包括：硅衬底、加热器，热气泡，热电堆和底部空腔，硅衬底上设有多晶硅制成的电阻加热器，采用塞贝克效应将温差转换为电压信号，X和Y轴上的加速度信号从每个热电堆的差动电压中获取，差动电压与沿着热电堆-加热器-热电堆轴向的加速度成比例，其特征在于：所述硅衬底上设有排列在两正交方向上并全部悬浮在铝制金属桥的空腔上面的热电堆，通过CMOS工艺淀积，每个热电堆有一个热接点和冷接点，由梁分布检验块和压敏电阻组成一个Z轴加速度计信号输出或从热电堆的共模电压中提取Z轴加速度计信号，通过引线键合或倒装芯片的形式组装。