用于有机薄膜的堆积的分子束源

摘要

一种用于堆积有机薄膜的分子束源，能够在大尺寸基底的膜形成表面上形成均匀薄膜，而不会在释放膜形成材料的分子的开口处产生膜形成材料的沉积或分离，其中阀33设置在从所述分子加热部12开始到所述用于向膜形成表面释放产生的膜形成材料的分子的分子释放开口14的空间内，此外，加热器18和19设置在分子释放开口14的侧面，用于加热要释放的膜形成材料的分子。在分子释放开口14侧面设置有具有锥形导壁的外导件13，以及还有具有锥形导壁的内导件16，其设置在所述外导件内。在外导件13和内导件16之间，形成有分子释放通道17，其直径沿分子释放的方向逐渐增大。加热器18和19分别设置在外导件13和内导件16上，此外，除了这些，加热器20设置为贯穿分子释放开口14，由此在释放开口处几乎不会发生变窄及/或阻塞。

主权项

1.一种用于堆积有机薄膜的分子束源，用于蒸发有机材料，包括：蒸气产生源；分子释放开口，其释放膜形成材料的分子，该膜形成材料分子在所述蒸气产生源中产生，朝向膜形成表面；外导件，其具有在分子释放开口的侧面由所述外导件的内表面限定的一锥形引导表面，所述外导件的所述锥形引导表面的直径沿释放分子的方向逐渐变大；内导件，其设置在所述外导件内部，具有由所述内导件的外表面限定的一锥形引导表面，所述内导件的所述锥形引导表面的直径沿释放分子的方向逐渐变大；分子释放通道，其形成在所述外导件的所述引导表面和所述内导件的所述引导表面之间且延伸到分子释放开口；及设置在所述分子释放开口的侧面的加热器，用于加热要被释放的膜形成材料的蒸汽粒子。