晶粒取放系统及顶针器

摘要

本发明提供一种具有晶粒取放系统及顶针器，属于晶粒取放技术领域。为解决现有晶粒取放设备中，晶粒影像清晰度不好的问题而发明。所述晶粒取放系统包括影像传感器、取放机具以及顶针器；所述顶针器具有顶针盖，由顶面和侧面所组成。顶针器内具有光源，配置于顶针器的腔室内。顶针配置于上述腔室内，藉以支撑晶圆上的晶粒。上述顶针盖之顶面系由可透光材质所制成，使于腔室内光源的光线能透过顶面至外部环境。以对在晶圆上的晶粒进行取放。

主权项

1.一种晶粒取放系统，其特征在于，包括：影像传感器，以撷取晶圆上晶粒的影像；取放机具，置于该晶圆的一侧，以真空方式吸附该晶粒；以及顶针器，置于该晶圆的另一侧，该顶针器包括：顶针盖，具有顶面及侧面，通过该顶面及该侧面形成腔室，该顶面具有顶针孔，该顶面由可透光材质制成；光源，配置于该腔室内，通过该顶面将该光源的光线散发到该顶针盖外；顶针，对应该顶针孔，配置于该腔室内；以及驱动部件，连接该顶针，以驱动该顶针在该顶面的垂直方向上下移动，通过驱动该顶针穿过该顶针孔，以将该晶粒移开该晶圆。