发明名称 INTEGRATED NITRIDE-BASED ACOUSTIC WAVE DEVICES AND METHODS OF FABRICATING INTEGRATED NITRIDE-BASED ACOUSTIC WAVE DEVICES
摘要
申请公布号 EP1599938(B1) 申请公布日期 2009.12.23
申请号 EP20040716159 申请日期 2004.03.01
申请人 CREE, INC. 发明人 SAXLER, ADAM WILLIAM
分类号 H03H3/08;H03H9/02;H01L27/20;H03H9/05;H03H9/145 主分类号 H03H3/08
代理机构 代理人
主权项
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