| 发明名称 | 多路实时膜厚监控仪 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多路实时膜厚监控仪，它包括主机和连接在主机上的至少一个振荡探测组件，所述振荡探测组件由振荡器和探头组成，振荡器的输出端连接主机，而输入端连接探头。本实用新型所述多路实时膜厚监控仪可多路同步实时动态监测多个镀膜蒸发源头内膜层的几何厚度、沉积速率等镀膜参数，掌握每个蒸发源的蒸发速率和膜层厚度，然后通过单片机PWM输出来同时实现多台镀膜设备的高精度镀膜功率控制，故在实际的使用过程中，可以替代多台常规产品使用，成本低、但效率高。 | ||
| 申请公布号 | CN201369319Y | 申请公布日期 | 2009.12.23 |
| 申请号 | CN200920141754.3 | 申请日期 | 2009.02.19 |
| 申请人 | 苏州硕光科技有限公司 | 发明人 | 吴向方;刘俊男 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I;H01L21/3205(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 范 晴 |
| 主权项 | 1.一种多路实时膜厚监控仪，其特征在于它包括主机(1)和连接在主机(1)上的至少一个振荡探测组件，所述振荡探测组件由振荡器(2)和探头(3)组成，振荡器(2)的输出端连接主机(1)，而输入端连接探头(3)。 | ||
| 地址 | 215011江苏省苏州市新区玉山路1号 | ||