基板清洗装置、基板清洗方法以及存储介质

摘要

本发明涉及基板清洗装置、基板清洗方法以及存储介质，具体而言，提供一种能够用海绵状刷子有效地除去附着在至少基板端面上的附着物的基板清洗装置。基板清洗装置(1)包括：旋转卡盘(3)，其以能够旋转的方式保持基板(W)；马达(4)，其旋转被保持在旋转卡盘(3)上的基板(W)；清洗液供给机构(10)，其向被保持在旋转卡盘(3)上的基板(W)供给清洗液；以及清洗机构。清洗机构具有在清洗时与基板(W)的至少端面相接触的由海绵状树脂形成的刷子(21)，以及压缩刷子(21)的刷子压缩机构(23a，23b，24)。刷子(21)呈被压缩机构(23a，23b，24)压缩的状态，并至少清洗基板(W)的端面。

主权项

1.一种用于清洗具有端面、表面周边部以及背面周边的基板的基板清洗装置，包括：基板保持机构，其以能够旋转的方式保持基板；基板旋转机构，其旋转被保持在所述基板保持机构上的基板；清洗液供给机构，其向被保持在所述基板保持机构上的基板供给清洗液；以及清洗机构，其具有在清洗时与基板的至少端面相接触的由海绵状树脂形成的刷子，以及压缩刷子的刷子压缩机构，所述刷子在被刷子压缩机构压缩且硬化的状态下清洗基板的至少端面。