发明名称 |
压印用模及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供设置在表面的被覆层不易剥离的压印用模及其制造方法。该压印用模的特征在于,包括模主体、设置于该模主体的表面的由脱模剂形成的被覆层,所述脱模剂含有式(1)表示的化合物,式中,R=Rf-X-,且左右的R是相同的基团,Rf=全氟烷基,X=由-(OC<sub>3</sub>F<sub>6</sub>)-、-(OC<sub>2</sub>F<sub>4</sub>)-、-(OCF<sub>2</sub>)-中的1种以上构成且该单元合计为1以上的基团,Y=有机基团,n的平均值=2~10,Z=-Si(R<sup>1</sup>)<sub>m</sub>(R<sup>2</sup>)<sub>3-m</sub>,R<sup>1</sup>=羟基或可水解的基团,R<sup>2</sup>=氢原子或烃基,m=1~3。 |
申请公布号 |
CN101610888A |
申请公布日期 |
2009.12.23 |
申请号 |
CN200880003883.4 |
申请日期 |
2008.01.22 |
申请人 |
旭硝子株式会社 |
发明人 |
上野胜也;川口泰秀 |
分类号 |
B29C33/62(2006.01)I;B29C33/38(2006.01)I;B29K23/00(2006.01)I;B29L11/00(2006.01)I |
主分类号 |
B29C33/62(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
刘多益;胡 烨 |
主权项 |
1.压印用模,其特征在于,包括模主体、设置于该模主体的表面的由脱模剂形成的被覆层,所述脱模剂含有以下式(1)表示的化合物,<img file="A2008800038830002C1.GIF" wi="1104" he="311" />式中,R为Rf-X-,且左右的R是相同的基团,Rf为碳数1~20的全氟烷基,X是由下式(u1)~(u3)表示的重复单元中的1种以上构成且该重复单元合计为1以上的基团,Y为碳数2以上的有机基团,n的平均值为2~10,Z为-Si(R<sup>1</sup>)<sub>m</sub>(R<sup>2</sup>)<sub>3-m</sub>,R<sup>1</sup>为羟基或可水解的基团,R<sup>2</sup>为氢原子或1价烃基,m为1~3的整数,-(OC<sub>3</sub>F<sub>6</sub>)- …(u1),-(OC<sub>2</sub>F<sub>4</sub>)- …(u2),-(OCF<sub>2</sub>)- …(u3),其中,C<sub>3</sub>F<sub>6</sub>及C<sub>2</sub>F<sub>4</sub>可以是直链状也可以是分支状。 |
地址 |
日本东京 |