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PURPOSE:To regulate emitter stabilizing resistance value without increasing parasitic elements by applying ion implantation or plasma etching to a poly-Si layer.
申请公布号
JPS6030112(B2)
申请公布日期
1985.07.15
申请号
JP19760140867
申请日期
1976.11.22
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
NOGUCHI KAZUO
分类号
H01L27/04;H01L21/331;H01L21/822;H01L29/73
主分类号
H01L27/04
代理机构
代理人
主权项
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