应用像散法于透明体与半透明体厚度检测之系统

摘要

一种应用像散法于透明体与半透明体厚度检测之系统，系利用一雷射光源，经聚焦物境与圆柱透镜后聚焦在一四象限感测器接收，当透明或半透明体置放于圆柱透境与四像限感测器之间，会产生像散；利用在光点位置量测方式下，可将透明或半透明体调整与光轴垂直，当光点调整至四象限感测器正时，则可确保透明或半透明体与光轴垂直，再转换至像散量测之方法，可获得因为像散产生之失焦位移变化，再由几何光学公式，即可求得待测物之厚度。

主权项

一种应用像散法于透明体与半透明体厚度检测之系统，系包括：一雷射光源，系产生一准直光束；一反射镜，与雷射光源相对应，以供将雷射光源所发出的光调整为反射光束；一聚焦物镜，与上述反射镜之反射光束相对应；一圆柱透镜，与圆柱透镜相对应，以供反射光束经过聚焦物镜与圆柱透镜后产生光轴，其聚焦点位置前后产生的不同像差，为聚焦在四象限感测器；待测物，其于两侧方位分别与圆柱透镜、四象限感测器相对应；以及一四象限感测器，与待测物相对应，以供测得雷射光经过圆柱透镜像散后的失焦位移变化量，再由几何光学S曲线公式，求得待测物之厚度。