发明名称 NANOMATERIAL AND METHOD FOR GENERATING NANOMATERIAL
摘要 Nanomaterial and methods for generating nanomaterial are described wherein a reaction, for example, decomposition, for generating nanomaterial occurs utilizing a hot wall reactor.
申请公布号 WO2009151489(A2) 申请公布日期 2009.12.17
申请号 WO2009US01162 申请日期 2009.02.25
申请人 CORNING INCORPORATED;FILIPPOV, ANDREY V;OSTERHOUT, CLINTON D;SALA, MARTIN A;SONI, KAMAL K;TRUESDALE, CARLTON M 发明人 FILIPPOV, ANDREY V;OSTERHOUT, CLINTON D;SALA, MARTIN A;SONI, KAMAL K;TRUESDALE, CARLTON M
分类号 H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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