PROCESS FOR FABRICATING A DEVICE.

摘要

Procédé de fabrication d'un dispositif, consistant à graver un substrat avec un plasma contenant du chlore. En ajustant les conditions du champ à courant alternatif, c'est-à-dire en reliant à la terre l'environnement du substrat à graver, il est possible d'obtenir une augmentation significative de la sélectivité de gravure. En appliquant un ajustement analogue du champ à courant alternatif aux surfaces des chambres de réaction, on obtient une excellente uniformité de gravure combinée à une excellente sélectivité.