| 发明名称 |
DIODE BOLOMOTER AND A METHOD FOR PRODUCING SAID DIODE BOLOMETER |
| 摘要 |
<p>Ein Bolometer weist eine Halbleitermembran (110) mit einem einkristallinen Abschnitt (120) und Abstandshalter (150), um die Halbleitermembran (110) in einem vorbestimmten Abstand (D) von einem Untergrundsubstrat (160) zu halten, auf. Die komplementär dotierte Bereiche (120a, 120b) des einkristallinen Abschnitts bilden eine Diode und der vorbestimmte Abstand (D) entspricht einem Viertel einer Infrarotwellenlänge (?).</p> |
| 申请公布号 |
WO2009149721(A1) |
申请公布日期 |
2009.12.17 |
| 申请号 |
WO2008EP04589 |
申请日期 |
2008.06.09 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;KROPELNICKI, PIOTR;RUSS, MARCO;VOGT, HOLGER |
发明人 |
KROPELNICKI, PIOTR;RUSS, MARCO;VOGT, HOLGER |
| 分类号 |
G01J5/20;H01L21/20;H01L31/0352;H01L31/103;H01L31/105 |
主分类号 |
G01J5/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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