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发明名称
SOI/GLAS-VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DÜNNEN MIKROBEARBEITETEN STRUKTUREN
摘要
申请公布号
DE60140379(D1)
申请公布日期
2009.12.17
申请号
DE20016040379
申请日期
2001.12.20
申请人
HONEYWELL INTERNATIONAL INC.
发明人
CABUZ, CLEOPATRA;RIDLEY, JEFFREY ALAN
分类号
B81C1/00;B81B3/00;H01L27/12
主分类号
B81C1/00
代理机构
代理人
主权项
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