| 发明名称 |
Ladungssteuerschaltung, mikroelektromechanische Zelle, mikroelektromechanisches System und Verfahren zum Steuern einer mikroelektromechanischen Vorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE112004002667(B4) |
申请公布日期 |
2009.12.17 |
| 申请号 |
DE200411002667T |
申请日期 |
2004.12.14 |
| 申请人 |
HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT CO. |
发明人 |
MARTIN, ERIC;BROCKLIN, ANDREW L. VAN |
| 分类号 |
B81B7/02;G02B26/08;G09G3/34 |
主分类号 |
B81B7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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