| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft hartstoffbeschichtete Körper mit einem mehrlagigen Schichtsystem, das mindestens eine Ti1-XAIXN-Hartstoffschicht enthält, und ein mehrstufiges CVD-Verfahren zu deren Herstellung. Die hartstoffbeschichteten Körper mit einem mehrlagigen Schichtsystem, das mindestens eine Ti1-XAIXN-Hartstoffschicht enthält, sind dadurch gekennzeichnet, dass das Schichtsystem besteht aus: a) einer auf den Körper aufgebrachten Anbindungsschicht aus TiN, Ti(C,N) oder TiC, b) einer auf der Anbindungsschicht aufgebrachten Phasengradientenschicht und c) der/den darauf aufgebrachten ein- oder mehrphasigen Ti1-XAIXN-Hartstoffschicht(en), wobei die Phasengradientenschicht an ihrer der Anbindungsschicht zugewandten Seite aus einem TiN/h-AIN-Phasengemisch besteht und in Richtung zur/zu den Ti1-XAIXN-Hartstoffschicht(en) mit zunehmender Schichtdicke einen zunehmenden Phasenanteil von fcc-TiAIN mit einem Anteil von > 50% und damit einhergehender simultaner Abnahme der Phasenanteile von TiN und h-AIN aufweist. Die Beschichtung kann insbesondere bei Werkzeugen und Bauteilen aus Stahl, Hartmetallen, Cermets und Keramiken eingesetzt werden, wie beispielsweise bei Bohrern, Fräsern und Wendeschneidplatten.</p> |
