发明名称 Doppelseiten-Poliermaschine
摘要
申请公布号 DE102004040429(B4) 申请公布日期 2009.12.17
申请号 DE20041040429 申请日期 2004.08.20
申请人 PETER WOLTERS GMBH 发明人 ISING, ULRICH
分类号 B24B7/17;B24B29/00;B24B37/015;B24B37/08;B24B49/14;H01L21/304 主分类号 B24B7/17
代理机构 代理人
主权项
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