Verfahren zum Abscheiden einer Kratzschutzbeschichtung auf einem Kunststoffsubstrat

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden einer transparenten Kratzschutzbeschichtung auf einem Kunststoffsubstrat mittels einer plasmaunterstützten chemischen Dampfabscheidung (PECVD), wobei mindestens ein metallorganischer Precursor und mindestens ein Reaktivgas in eine Vakuumkammer geführt werden, wobei das Plasma mittels eines gepulst betriebenen Magnetrons erzeugt wird und mindestens eine Schicht mit einer über die Schichtdicke stetigen oder sprunghaften Veränderung bezüglich der Schichtzusammensetzung abgeschieden wird.