发明名称 |
一种半导体封装设备的植球装置 |
摘要 |
本发明涉及一种半导体封装设备的植球装置,包括机架、网板、两条导轨、植球机构以及驱动机构,所述的网板固定于机架上,所述的植球机构位于网板的上方并与两条导轨滑动配合固定,该植球机构包括锡球容器、一对限位件、刮板、连接板、多个弹簧、多个千分表以及传感器,所述的锡球容器的底部设有沟缝,所述的一对限位件固定于锡球容器上,所述的刮板的纵截面概呈上宽下窄的锥形,所述的多个弹簧的下端固定于刮板的上端,上端通过连接板与多个千分表连接,所述的传感器设于锡球容器内,所述的驱动机构与植球机构传动连接。本发明具有成本低、控制与调试简便、适用广,以及对锡球伤害较小、成功率高、利用率高等优点。 |
申请公布号 |
CN101604618A |
申请公布日期 |
2009.12.16 |
申请号 |
CN200910052778.6 |
申请日期 |
2009.06.09 |
申请人 |
上海微松半导体设备有限公司 |
发明人 |
徐光宇 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海科盛知识产权代理有限公司 |
代理人 |
赵志远 |
主权项 |
1.一种半导体封装设备的植球装置,其特征在于,包括机架、网板、两条导轨、植球机构以及驱动机构,所述的网板固定于机架上,所述的两条导轨分别设于网板的两侧,所述的植球机构位于网板的上方并与两条导轨滑动配合固定,该植球机构包括锡球容器、一对限位件、刮板、连接板、多个弹簧、多个千分表以及传感器,所述的锡球容器设于网板上,该锡球容器的底部设有沟缝,所述的一对限位件固定于锡球容器上,所述的刮板的纵截面概呈上宽下窄的锥形,其上端夹设于两个限位件之间,其下端设于锡球容器的沟缝内,并且下端面与锡球容器底部的下表面齐平,所述的多个弹簧的下端固定于刮板的上端,上端通过连接板与多个千分表连接,所述的传感器设于锡球容器内,所述的驱动机构与植球机构传动连接。 |
地址 |
201114上海市闵行区新骏环路189号创新创业园区A栋104室 |