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发明名称 MANUFACTURE OF OXIDE SUPERCONDUCTING FILM
摘要
申请公布号 JPS64614(A) 申请公布日期 1989.01.05
申请号 JP19870155080 申请日期 1987.06.22
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MICHIGAMI OSAMU;ASANO HIDEFUMI;TANABE KEIICHI;KATO YUJIRO;KUBO SHUGO
分类号 C23C14/34;C23C14/06;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/12 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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